Mikrosystemtechnik, Bionik, Lerntipps und Robotik für Studenten

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Der kühnsten Taten Keim ist Selbstvertrauen,
und nur dem Kühnen lacht das Glück
(Kotzebue)

Mikrosystemtechnik Bücher



Mikrosystemtechnik für Ingenieure [W.Menz, J.Mohr]
Dieses wahr mein erstes Buch zur Mikrosystemtechnik und wohl auch das Beste. Das Buch deckt die kompletten Grundlagen der Mikrosystemtechnik ab und erklärt alle wichtigen Prozessschritte bei der mikrotechnologischen Herstellung. In diesem Buch werden die einzelnen Verfahren in der gleichen Reihenfolge beschrieben, wie sie beim Herstellen eines typischen Mikrosystems erfolgen (Von der Kristallzucht über Lithografie zu den Ätztechniken). Dieses Buch richtet sich vor allem an Ingenieure, Studenten und Naturwissenschaftler. Es ist aber genauso für engagierte Einsteiger geeignet.

Kapitelübersicht:

                  1.Allgemeine Einfürung in die Mikrostrukturtechnik
                  2. Die Parallelen zur Mikroelektronik
                  3. Grundlagen und Materialien der Mikrotechnik
                  4. Basistechnologien der Mikrotechnik
                  5. Lithographie
                  6. Die Silizium-Mikromechanik
                  7. Das LIGA-Verfahren
                  8. Alternative Verfahren der Mikrostrukturierung
                  9. Aufbau- und Verbindungstechnik
                  10.Systemtechnik
                  11.Das Potential der Mikrosystemtechnik in der Medizin

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Mikromechanik, Einführung in Technologie...[S.Büttgenbach]
In diesem Buch geht es hauptsächlich um die Herstellung von dreidimensionalen, mechanischen Strukturen im Mikrometerbereich und allen dazu notwendigen Verfahrenstechniken.
Der behandelte Stoff ist, allein schon wegen dem beschränkten Umfang, auf das Wesentlichste reduziert. Wie bereits gesagt ist dies nur ein kleines aber dafür preiswertes Buch, und ist deshalb ideal als Einsteigerbuch geeignet. Dennoch ist der Inhalt auch für Studenten und Ingenieure anderer Fachgebiete sehr zu empfehlen.

Kapitelübersicht:

                  1.Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik
                  2.Werkstoffe der Mikromechanik
                  3.Reinraumtechnik (Notwendigkeit,Klassifizierung)
                  4.Technologien der Mikromechanik (Lithographie, Dünnschichttechnik,                        Dotierung, Ätztechnik...)
                  5.Messmethoden (Schichtdickenmessung, Topographieuntersuchung...)
                  6.Anwendungen der Mikromechanik(Sensoren, Aktoren...)
                  7.Mikrosystemtechnik
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Mikrosystementwurf[M.Kasper]
Entwurf und Simulation von Mikrosystemen stehen bei diesem Buch im Mittelpunkt. Es ist teilweise ein sehr theoretisches Buch, aber für einen (angehenden) Ingenieur schon bewältigbar. Das Hauptanliegen des Buches ist es dem Leser die verschiedenen Simulations-, Modellierungs-, Optimierungs- und Entwurfsverfahren zu erklären.

Umschlagtext:

Diese Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Kosequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Massstabsänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.

Kapitelübersicht:

                  1. Einführung
                  2. Technologien der Mikrosystemtechnik
                  3. Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
                  4. Allgemeine Entwurfsmethoden
                  5. Systemsimulation
                  6. Beschreibung physikalischer Vorgänge durch
                     Netzwerkmodelle
                  7. Makromodelle
                  8. Numerische Feldberechnung
                  9. Systemintegration
                  10.Physikalischer Entwurf und Systemintegration
                  11.Systemoptimierung
                  12.Mikroaktoren
                  13.Sensoren
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